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| ★ナノテクノロジーの共通基盤技術として注目される薄膜技術の現状と展望を明らかにした★半導体デバイス、電気・電子部品、機械部品、金型・治工具まで応用が拡がる無機薄膜技術の全容★乾式・湿式薄膜製造プロセス技術、薄膜製造装置技術、薄膜物性評価技術、最新の応用技術とトピックスを纏めた 本書は2006年に『機能性無機膜の製造と応用』として刊行されました。普及版の刊行にあたり、内容は当時のままであり加筆・訂正などの手は加えておりませんので、ご了承ください。
5,060-(税込)
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機能性無機膜 開発技術と応用 普及版
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